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    鵬城半導體 熱絲CVD金剛石制備設備 PC-005

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    價格: 面議
    所在地: 廣東 深圳市
    有效期至: 長期有效
    詢價
    公司基本資料信息
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    產品詳細說明

    產品簡介

    研發設計制造了熱絲CVD金剛石設備,分為實驗型設備和生產型設備兩類。

    設備主要用于微米晶和納米晶金剛石薄膜、導電金剛石薄膜、硬質合金基金剛石涂層刀具、陶瓷軸承內孔鍍金剛石薄膜等。例如可用于生產制造環保領域污水處理用的耐腐蝕金剛石導電電極。

    可用于平面工件的金剛石薄膜制備,也可用于刀具表面或其它不規則表面的金剛石硬質涂層制備。

    平面工作尺寸

    圓形平面工作的尺寸:最大φ650mm。

    矩形工作尺寸的寬度600mm/長度可根據鍍膜室的長度確定(如:工件長度1200mm)。

    配置冷水樣品臺。

    熱絲電源功率

    可達300KW,1KW ~300KW可調(可根據用戶工藝需求配置功率范圍)

    設備安全性

    -電力系統的檢測與保護

    -設置真空檢測與報警保護功能

    -冷卻循環水系統壓力檢測和流量檢測與報警保護

    -設置水壓檢測與報警保護裝置

    -設置水流檢測報警裝置

    設備構成

    真空室構成

    雙層水冷結構,立式圓形、立式D形、立式矩形、臥式矩形,前后開門,真空尺寸,根據工件尺寸和數量確定。

    熱絲

    熱絲材料:鉭絲、或鎢絲

    熱絲溫度:1800℃~ 2500℃ 可調

    樣品臺

    可水冷、可加偏壓、可旋轉、可升降 ,由調速電機控制,可實現自動升降,(熱絲與襯底間距在5 ~ 100mm范圍內可調),要求升降平穩,上下波動不大于0.1mm。

    工作氣路(CVD)

    工作氣路根據用戶工藝要求配置:

    下面氣體配置是某一用戶的配置案例。

    H2(5000sccm,濃度100%)

    CH4(200sccm,濃度100%)

    B2H6(50sccm,H2濃度99%)

    Ar(1000sccm,濃度100%)

    真空獲得及測量系統

    控制系統及軟件

    實驗型 熱絲CVD金剛石設備

    單面熱絲CVD金剛石設備

    雙面熱絲CVD金剛石設備

    生產型熱絲CVD金剛石設備

    可制備金剛石面積-寬650*1200mm

    可制備金剛石φ 650mm

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